设备型号：Sigma 500
生产厂家：德国卡尔蔡司
技术指标：
30 KV分辨率0.8 nm，1 KV分辨率1.3 nm；
最快扫描速度50ns/像素；
加速电压0.02~30 KV；
放大倍率：10X~1,000,000X；
探针电流：3 pA~20 nA；
5轴优中心样品台。
功能应用：配备Inlens探测器、SE2探测器、HDBSD探测器、STEM探测器；既可以进行立体感好的低倍拍摄，又可以进行分辨率高的高倍成像；既可以对各类样品进行出色的低加速电压成分衬度分析，又可以进行高分辨率透射电子成像；既可以分屏、双放大倍数，又可以双通道使用。可用于各种材料的微观形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，广泛用于材料科学（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
